PAT概要

Parts Average Testing(PAT)は、近年、多くの半導体会社に採用され、主として自動車業界(Automotive Electronics Council:AEC-Q001-Rev C) の厳しい要求を満たすことを助けています。信頼性研究によると、変質特徴を持つ半導体部品は、確かに、長期的な品質及び信頼性に問題が生じる傾向があることを示しています。　すなわち、当初すべての製造テストをパスしたデバイスであっても、同じ集団やロット内の他の部品と比較した場合に”アウトライヤー” と見なされる部品は、おそらくフィールドで不良となるだろうということです。これは、製品出荷から除外すべきアウトライヤーを識別するためのParts Average Testing(PAT)として知られるプロセスの基本となっています。これは、複数のデバイスの統計的なサンプリングを基に、パス/フェイルのテストリミットを修正することによって行われます。

Automotive Electronics Council AEC-Q001-Rev C仕様におけるParts Average Testing(PAT)の詳細としては、ノーマル（ガウシアン）分布のためのDPMテクニックをカバーしているだけです。しかし、多くの分布はガウシアン分類に当てはまることはなく、歩留まりの損失過多や妥当でないアウトライヤー検出を避けるためのアダプティブPATアウトライヤー検出手法が要求されています。

アウトライヤーの識別と除去を利用する恩恵

アウトライヤーの識別/除去テクニックを利用しますと、以下のことが可能になります。

• 品質と信頼性の問題及びその結果（顧客返却、製品リコール）を著しく減少
• プロセスシフトの迅速な認識
• サプライ・チェインのメンバーの中での迅速なフィードバックの伝達手段を提供
• 製品とプロセスの信頼性の向上

PAT-Man™：閉ループ・ソリューション

コスト意識の高いサプライヤーが直面する大きな問題の1つは、100万個当たりの欠陥数（DPM）の低減と歩留まりをいかにトレードオフするかということです。これは、Galaxy PAT-Man™製品の設計上の重要な検討事項であり、DPM削減プロセス全体を管理するための閉ループで最適化されたソリューションです。

GalaxyのPAT-Man™は、PATおよび関連するDPM低減技術のための包括的なソリューションで、ウェハロットの初期特性評価から最終テストの歩留まりモニタリングまで、DPM低減プロセスを管理します。PAT-Man™は、実績あるアーキテクチャと直感的なユーザー・インターフェースに基づき、既存の製造テスト環境に容易に統合でき、業界で最も高速でコスト効率の高いDPM削減ソリューションを提供します。

代表的なPAT-Man™アプリケーション

• ウェハ・ソート：パラメトリックPAT、近傍的PAT（隣接不良の中の良品ダイ）、レチクルPAT及びこれらの組み合わせをカバーする後処理ステップ
• ファイナル・テスト：パラメトリックPATやトレンドモニタリング、歩留まりモニタリング、アラーム/レポート通知などをカバーするテスタ上でのリアル・タイムプロセス
• 静的PATリミット：Automotive Electronics Council AEC-Q001 Rev CとJEDEC仕様をサポート
• 動的PATリミット：歩留まり損失を最小にするためのガウシアン分布への自動アダプティブアルゴリズム（非ガウシアン分布に対しても同様に適用可能）