Zは3段階切り替え
レバーの操作により、3段アクションのZドライブが可能です。アライン(位置合わせ)はウエハーから約300μm針を離して行うので、顕微鏡の焦点からはずれないでステージが移動でき、かつローディング/アンローディングのときは、5.0mm離れますので安全に操作できます。
ステージ移動が簡単で正確です
ステージ移動ノブについている移動用スイッチにより、自在にステージをXYに移動させることができます。範囲はXY共に各チャックサイズと同等を実現しています。
確実なアライメント
マイクロメーター付の高精度精密ステージをXYZθに採用しています。プローブカード装着時のアライメントも簡単にできます。
装置仕様
- 本体寸法(本体のみ) 奥行:500mm幅:500mm 高さ:330mm
- 重量(本体のみ) 40kg
- ステージトラベル(粗動) X:200mm、 Y:200mm
- サブステージトラベル(微動) X:14mm、 Y:14mm
- チャック径 4?8inch
- ウエハー保持 真空吸着方式(400mmHg以上)