テスターインタフェース製品

マニュアル・プローバ α100/150/200

快適な操作性が好評のαシリーズ評価・解析に幅広いニーズに対応 ショックアブソーバーの採用で常にソフトなコンタクトを実現しています。 大型のプラテンを採用し、余裕のマニピュレーターの搭載を実現しています。 またプラテンが上下することで、一括で針のZ調整ができます。 操作性を考慮した前明きの形です。ウエハーのロード/アンロードが容易にできます。

Zは3段階切り替え

レバーの操作により、3段アクションのZドライブが可能です。アライン(位置合わせ)はウエハーから約300μm針を離して行うので、顕微鏡の焦点からはずれないでステージが移動でき、かつローディング/アンローディングのときは、5.0mm離れますので安全に操作できます。

ステージ移動が簡単で正確です

ステージ移動ノブについている移動用スイッチにより、自在にステージをXYに移動させることができます。範囲はXY共に各チャックサイズと同等を実現しています。

確実なアライメント

マイクロメーター付の高精度精密ステージをXYZθに採用しています。 プローブカード装着時のアライメントも簡単にできます。

装置仕様

  • 本体寸法(本体のみ) 奥行:500mm幅:500mm 高さ:330mm
  • 重量(本体のみ) 40kg
  • ステージトラベル(粗動) X:200mm、 Y:200mm
  • サブステージトラベル(微動) X:14mm、 Y:14mm
  • チャック径 4?8inch
  • ウエハー保持 真空吸着方式(400mmHg以上)

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