快適な操作性が好評のαシリーズ評価・解析に幅広いニーズに対応 ショックアブソーバーの採用で常にソフトなコンタクトを実現しています。 大型のプラテンを採用し、余裕のマニピュレーターの搭載を実現しています。 またプラテンが上下することで、一括で針のZ調整ができます。 操作性を考慮した前明きの形です。ウエハーのロード/アンロードが容易にできます。
レバーの操作により、3段アクションのZドライブが可能です。アライン(位置合わせ)はウエハーから約300μm針を離して行うので、顕微鏡の焦点からはずれないでステージが移動でき、かつローディング/アンローディングのときは、5.0mm離れますので安全に操作できます。
ステージ移動ノブについている移動用スイッチにより、自在にステージをXYに移動させることができます。範囲はXY共に各チャックサイズと同等を実現しています。
マイクロメーター付の高精度精密ステージをXYZθに採用しています。プローブカード装着時のアライメントも簡単にできます。
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